设备静电放电（ESD）和静电吸引（ESA）的评估和控制指南

Guide to Assess and Control Electrostatic Discharge (ESD) and Electrostatic Attraction (ESA) for Equipment

静电产生的主要原因

接触分离

摩擦起电

感应起电

静电的危害

静电具有一定的隐秘性、积累性、复杂性和随机性，当静电现象发生时，静电会在半导体设备和器件中隐藏存在，随着工作时间的延长、工作量的增多，静电量会越积越多，进而加剧灰尘的依附性，长久以往，会降低设备的使用寿命。静电放电后，会对器件产生强烈的电攻击，被电击后的器件如果不进行及时的修复，可能导致器件的永久伤害。

半导体制造工厂，存在易燃化学品，静电放电后，会导致静电作为起火源，引起化学品的燃烧甚至爆炸发生。

静电限值要求

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